SEM装上波长色散X射线谱仪或能量色散X射线谱仪，简称能谱仪，后在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进行元素分析。X射线荧光固体制样方法，请收好！X射线荧光光谱法是一个相对分析方法，任何制样过程和步骤必须有非常好的重复操作可能性；用于制作校准曲线的标准样品和分析样品必须经过同样的制样处理过程。

能谱EDS点扫、线扫和面扫微区元素分析，点扫可以给出扫描元素的相对含量，面扫是对样品某一区域的元素分布进行观察，测试准确性较高，常用于显...

检验与测试 InspectionTest 印制电路信息 2012No 5 解析S深E圳应用 摘要 从原理和

扫描电镜+能谱仪介绍: 扫描电子电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析，两者区别是扫描能谱的面积大小不一。不过，到了2004年左右，相关协会规定，EDS就是能谱或者能谱仪，EDX就是能谱学，Dispersive就不去翻译。这样，大家应该就能理解，对于很多样品，TEM的EDS分析就是半定量的，对于轻元素，甚至只能定性，大家能做到的，就是选取适当合理的分析工具，尽量找到干扰小的...

样品案例通过将某中药样品经乙醇稀释、超声波均散后，点样于样品台上晾干，进行表面处理后送入X射线能谱仪内，在电子显微分析仪图象观察显微形...

ICP、拉曼.压汞等31 人赞同了该文章如果要分析材料微区成分元素种类与含量，往往有多种方法，打能谱就是我们最常用的手段。能谱具有操作简单、分析速度快以及结果直观等特点，最重要的是其价格相比于高大上的电镜来说更为低廉，因此能谱也成为了目前电镜的标配。能谱EDS的采样深度大约为1 μm，可对试样微区内Be~U范围内的元素进行

SEM-EDS即通过将扫描电子显微镜和能谱组合在一起，是一种对药物或材料等成分进行分析的组合检测设备。微源检测实验室拥有SEM-EDS以及完备的检测能力。其工作原理是扫描电镜由聚焦电子束在试样的表面逐点扫描成像。高能量的电子与所分析的试样物质相互作用，在样品表面激发出次级电子，

扫描电子显微镜和能谱分析技术，安泰科技研发中心郭金花主要内容扫描电镜，扫描电镜的作用扫描电镜的工作原理扫描电镜的主要构造扫描电镜对样品的作用能谱仪，能谱的工作原理能谱的结构能谱的特点

c) ±1%wt≤含量≤ 3%wt的元素，允许的相对误差≤ 30％。 d) ±0.5%wt≤含量≤ 1%wt的元素，允许的相对误差≤ 50％。 对于不平坦试样，可用三点分析结果的的平均值表示，或在总量误差小于等于±5％的情况下，如确认没有漏测元素时，允许使用归一化值作为定量分析结果。偏差大于±5％，只能作为半定量结果处理

中药样品的微观元素分析

电子器件材料的成分检测

在电子器件制造过程中，对材料的成分检测至关重要。我们曾使用SEM-EDS对某款电子器件中的金属薄膜进行成分分析。通过SEM观察薄膜的形貌，并利用EDS分析薄膜中的元素组成。结果显示，薄膜主要由金、银等贵金属组成，且元素分布均匀。这一结果对于保证电子器件的性能具有重要意义。

SEM能谱分析的未来展望

因为科学技术的不断发展，SEM能谱分析技术在各个领域中的应用越来越广泛。未来，因为新型分析技术的出现，SEM能谱分析技术将更加高效、精确。同时，因为人们对物质微观结构认识的不断深入，SEM能谱分析技术在科学研究、工业制造等领域的重要性将进一步提升。